Série de lots AP MARS

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Aperçu

Les systèmes de traitement au plasma de la série AP conviennent à une large gamme d'applications, notamment le nettoyage au plasma, l'activation de surface et l'amélioration de l'adhésion. Ces systèmes servent des secteurs tels que la fabrication de semi-conducteurs, le conditionnement et l'assemblage de produits microélectroniques, ainsi que la production d'équipements médicaux et des sciences de la vie. La série AP comprend quatre systèmes de traitement plasma par lots, offrant des options de chambres à vide petites, moyennes et grandes pour répondre aux besoins des clients allant des environnements de R&D à différents niveaux de production.

Caractéristiques et avantages des systèmes de traitement au plasma

● Le contrôleur PLC avec interface à écran tactile fournit un affichage graphique intuitif et une surveillance du processus en temps réel

● La conception flexible des étagères permet le traitement de divers supports de pièces en mode plasma direct ou en aval

● Le générateur RF 13,56 MHz avec adaptation automatique d'impédance garantit une reproductibilité inégalée du processus

● Le système de contrôle logiciel propriétaire génère des données de processus et de production pour le contrôle statistique des processus (SPC).

● Opération de type batch ; chaque unité est entièrement autonome et nécessite un minimum d'espace au sol

● La pompe, la chambre, l'électronique de commande et le générateur RF 13,56 MHz sont tous logés dans un seul boîtier.

Modèles et configurations de systèmes de traitement au plasma

Systèmes de traitement au plasma de paillasse AP-600 et AP-300 :Les systèmes de traitement au plasma AP-300 et AP-600 sont des unités de table entièrement autonomes et nécessitant un espace de travail minimal. Le châssis du système abrite la chambre à plasma, l'électronique de commande, un générateur RF de 13,56 MHz et un réseau d'adaptation automatique de la chambre (seule la pompe à vide est située à l'extérieur). L'accès pour la maintenance est assuré par des portes verrouillées ou des panneaux amovibles. La chambre à plasma prend en charge jusqu'à sept étagères électriques ou mises à la terre amovibles et réglables pour accueillir diverses pièces, assemblages et supports, notamment des magasins, des plateaux et des bateaux à plaquettes. Le système de traitement au plasma sous vide accepte une large gamme de gaz de traitement, notamment l'argon, l'oxygène, l'hydrogène, l'hélium et les gaz fluorés. Les deux modèles sont livrés en standard avec deux (2) régulateurs de débit massique pour un contrôle optimal du gaz, avec deux (2) unités supplémentaires disponibles en option (jusqu'à quatre au total). Des connexions utilitaires pratiques facilitent l’étalonnage périodique requis pendant les processus de validation.

Système de traitement au plasma AP-1000 :La plate-forme AP-1000 permet un accès frontal complet, facilitant ainsi l'utilisation et la maintenance de tous les composants internes. La pompe est montée sur roulettes pour un retrait facile. La chambre à plasma est construite en acier inoxydable de calibre 11 avec des fixations en aluminium, garantissant une durabilité exceptionnelle. La chambre comporte plusieurs étagères amovibles et réglables pour accueillir une variété de supports de pièces, notamment des magasins, des plateaux, des plaquettes et des bateaux à plaquettes. Équipé d'étagères HTP (haut débit) en option, le système de traitement plasma AP-1000 combine la fiabilité et la qualité de processus de la plate-forme AP-1000 avec les avantages éprouvés de la conception unique des étagères de Nordson MARCH. L'AP-1000 HTP optimise l'utilisation des ions réactifs dans le plasma RF, améliorant ainsi l'uniformité du traitement tout en réduisant les temps de cycle. Le système AP-1000 HTP prend en charge une gamme de gaz de procédé, tels que l'argon, l'hydrogène et l'hélium. Il est livré en standard avec quatre régulateurs de débit massique de gaz pour assurer un contrôle optimal du gaz. Les magasins à fentes sont positionnés verticalement dans la chambre.

De plus, les chargeurs à fentes peuvent être placés verticalement à l'intérieur de la chambre. En règle générale, chaque magasin contient au moins 20 grilles de connexion. La chambre à plasma AP-1000 peut accueillir jusqu'à 12 chargeurs, selon la taille du chargeur.